계측센서
대분류
중분류
소분류

Z5CF-500
칼라 레지스터(막후센서)
CF제조공정, 인라인·전체공수의 칼라 레지스터 후막의 검사·계측·관리로 품질·원료절감 향상을 지원
Z5FM-200
막두께 계측센서(박막계측센서-IN Line용)
인라인으로 막 두께검사ㆍ계측의 실현으로 품질개선을 강력히 지원
Z5FP
단면적 센서, Profile 센서(seal검사용/Rib검사용)
LCD 형상의 인라인 계측을 실현, FPD제조공정의 품질 및
Z5PM
플라즈마 모니터
2파장의 플라즈마 발광원을 모니터링. 고정도ㆍ소형ㆍ저가를 실현