EE-SPY801/EE-SPY802
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웨이퍼 카세트 착좌 센서
  웨이퍼 카세트 착좌 검지
- 웨이퍼캐리어와의 접촉면은 내약품성에 뛰어난
테프론수지로 보호
- 독자적인 광학계로 대부분의 웨이퍼캐리어를
안정적으로 검출
- 외란광에 강한 변조광 방식
- 코드는 클린코드(타르크분 없음)을 사용
 
 
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분류 제목 언어 type 다운로드
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